環境機能応用研究部門

ICP質量分析装置

　本装置は、高周波誘導結合プラズマ（ＩＣＰ）をイオン化源とし、生成したイオンを真空容器内に取り込み、不要な光や中性子を除いたのち、イオンを四重極質量分析計に導き、イオン１個の単位で質量ごとに分離し、イオンの数を計測することができる装置です。
　小量の試料を１回の分析操作で多元素を同時に分析でき、かつピコグラムオーダーの超微量からパーセントオーダーの常量分析まで、広いダイナミックレンジに亘って測定が可能であり、幅広い分野で活用できます。

※主な用途：電気メッキ業、半導体製造装置製造業、半導体素子製造業、電子部品製造業、分析機器製造業