試料表面を観察する電子線を利用した走査型電子顕微鏡で、従来の高真空モードに加え、導電性の低い材料（プラスチック、木材、レジスタ等）を導電処理することなく観察することが可能な低真空モードを搭載しています。また、エネルギー分散型Ｘ線分析装置を搭載しており、導電処理不要で元素分析、マッピング等の分析ができます。
※主な用途：ガラス等の非伝導性物質の表面観察および元素分析 植物等の水分を含んだ試料の観察 微小異物の拡大観察および元素分析
